智鼎自动化申请大面积激光退火均匀性控制方法及装置,实现激光退火的均匀控制:自动化控制

金融界2025年6月11日消息,国家知识信息显示,深圳市智鼎自动化技术有限公司申请一项名为“大面积激光退火的均匀性控制方法及装置”的,公开号CN120127004A,申请日期为2025年04月自动化控制

摘要显示,本发明涉及自动控制技术领域,公开了一种大面积激光退火的均匀性控制方法及装置,所述方法包括:获取基板三维高度分布图,用自适应分割算法划分子区域,得到高度均值与边界坐标自动化控制。依据高度均值计算焦距调整量,生成焦点参数表。经激光测试比对,动态调焦至焦点偏移小于阈值,获修正焦点数据。提取能量过渡特征,以最小能量梯度约束生成扫描路径。按路径控制激光束,采集能量分布信号,检测初始退火深度,调整未达一致性的子区域激光参数,平滑边缘区域退火特征,生成满足均匀公差的控制指令。本方法通过测量基板全区域高度分布,对基板划分不同的子区域并平滑区域之间的能量过渡,实现激光退火的均匀控制。

天眼查资料显示,深圳市智鼎自动化技术有限公司,成立于2015年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业自动化控制。企业注册资本458.5万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市智鼎自动化技术有限公司财产线索方面有商标信息15条,信息29条,此外企业还拥有行政许可11个。

来源:金融界

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